Плазма цэвэрлэгчийн тусгай хэрэглээ

Плазм цэвэрлэх/сийлбэрлэх машинууд нь цахилгаан талбар үүсгэхийн тулд хоёр электродыг битүүмжилсэн саванд хийж плазм үүсгэдэг. Вакуум насосыг тодорхой вакуум түвшинг хадгалахад ашигладаг. Хий улам бүр ховордох тусам молекулуудын хоорондох зай, молекулууд эсвэл ионуудын чөлөөт хөдөлгөөн нэмэгддэг. Цахилгаан талбайн нөлөөн дор эдгээр ионууд мөргөлдөж, плазм үүсгэдэг. Эдгээр ионууд нь маш идэвхтэй бөгөөд бараг бүх химийн холбоог таслахад хангалттай энергитэй бөгөөд ил гарсан гадаргуу дээр химийн урвал үүсгэдэг. Өөр өөр хийн плазмууд өөр өөр химийн шинж чанартай байдаг. Жишээлбэл, хүчилтөрөгчийн плазм нь исэлдүүлэх чадвартай, фоторезистийг исэлдүүлэн хий үүсгэх чадвартай тул цэвэрлэх нөлөө үзүүлдэг. Идэмхий хийн плазм нь сийлбэр хийх шаардлагад нийцсэн маш сайн анизотроп шинж чанартай байдаг. Плазмын эмчилгээ нь гялбаа үүсгэдэг тул гялалзсан ялгадас гэж нэрлэдэг.
Плазмын цэвэрлэгээний механизм нь үндсэндээ гадаргуугийн толбыг арилгахын тулд сийвэн дэх идэвхтэй тоосонцорыг "идэвхжүүлэх" дээр суурилдаг. Урвалын механизмын хувьд плазмын цэвэрлэгээ нь ерөнхийдөө дараах үйл явцыг хамардаг: органик бус хий нь плазмын төлөвт өдөөгддөг; хийн бодисууд нь хатуу гадаргуу дээр шингэдэг; шингэсэн бүлгүүд нь хатуу гадаргуу дээрх молекулуудтай урвалд орж, бүтээгдэхүүний молекул үүсгэдэг; бүтээгдэхүүний молекулууд хийн үе шатанд задардаг; мөн урвалын үлдэгдлийг гадаргуугаас зайлуулна.

Плазма цэвэрлэх технологийн хамгийн чухал онцлог нь метал, хагас дамжуулагч, исэл, полипропилен, полиэфир, полиамид, поливинил хлорид, эпокси, тэр ч байтугай политетрафторэтилен зэрэг ихэнх полимер материалыг боловсруулах боломжтой байдаг. Энэ нь бүхэл бүтэн гадаргуу болон тодорхой газар нутгийг, түүнчлэн нарийн төвөгтэй бүтцийг цэвэрлэх боломжтой.