LCD RF плазмын төхөөрөмж

LCD RF плазмын төхөөрөмж нь LCD, OLED болон бусад хавтгай дэлгэцийн материалын гадаргууг боловсруулахад зориулагдсан{0}}өндөр гүйцэтгэлтэй систем юм. Энэ нь тогтвортой боловсруулалт, өндөр нэвтрүүлэх чадвар нь адилхан чухал байдаг орчин үеийн үйлдвэрлэлийн хатуу шаардлагыг хангахад зориулагдсан. Системийн нийт хэмжээ нь 880 мм × 790 мм × 1710 мм, вакуум камерын хэмжээ 450 мм × 450 мм × 450 мм байна. Электродын хавтан бүр нь 410 мм × 430 мм бөгөөд нэг мөчлөгт 5 хүртэлх давхар субстратыг нэгэн зэрэг боловсруулж болно.

 

Функциональ талаас нь авч үзвэл төхөөрөмж нь RF-ийн гаралтын чадал, вакуум шахах хугацаа, бие даасан эмчилгээний сегмент, хийн урсгалын хурд зэрэг үйл явцын үндсэн параметрүүдийг шууд тохируулах боломжтой-хэрэглэгчдэд ээлтэй HMI-ээр хангадаг. Эдгээр тохиргоог янз бүрийн материал эсвэл процессын шаардлагад дасан зохицохын тулд хурдан өөрчилж, үйлдвэрлэлийн үйл ажиллагаанд уян хатан байдал, тогтвортой байдлыг санал болгодог.

Хий дамжуулах систем нь бие даасан гурван сувгийг дэмждэг бөгөөд азот (N₂), аргон (Ar), устөрөгч (H₂), хүчилтөрөгч (O₂) -ийг зохицуулж чаддаг. Урсгал хэмжигчийг 0-200 мл/мин-ийн хязгаарт тохируулсан бөгөөд хяналтын нарийвчлал нь хэлбэлзлийг 5% -иас бага байлгах боломжтой. Бүх үндсэн пневматик эд ангиудыг SMC-ээс нийлүүлдэг бөгөөд камерын битүүмжлэл нь удаан эдэлгээтэй флюро{5}}резинэн жийргэвч дээр суурилж, хүнд хэцүү орчинд удаан{6}}тогтвортой байдлыг хангадаг. Плазма нь 13.56 МГц давтамжтай, хамгийн ихдээ 1 кВт чадалтай, өөртөө дасан зохицдог RF-ийн тэжээлийн хангамжаар үүсгэгддэг бөгөөд энэ нь жигд боловсруулалтанд найдвартай эрчим хүчний хангамжийг баталгаажуулдаг.

Бүтцийн хувьд камер нь исэлдэлт болон зэврэлтийг багасгахын тулд өндөр{0}}цэвэр 304 зэвэрдэггүй гангаар хийгдсэн. Уг систем нь вакуумын бүрэн бүтэн байдлыг хангах давхар битүүмжлэлийн хийцийг ашигладаг бол камерын арын хэсэгт байрлах зэс электрод эзэмшигчид нь олон шураг түгжээгээр дамжуулан хэвтээ электродын хавтанг бэхэлж, тогтвортой байдал, эрчим хүчний дамжуулалтыг сайжруулдаг. Хажуугийн нэмэлт тулгуурууд нь электродыг улам бэхжүүлдэг. Вакуум тэнцвэрийг оновчтой болгосон: хурдан суллах хавхлага нь 5-10 секундын дотор даралтыг тэнцвэржүүлж, сул зогсолтын хугацааг багасгаж, бүтээмжийг нэмэгдүүлнэ.

Ашиглалтын аюулгүй байдлыг хангахын тулд машин нь гэмтлийн дохиоллын системээр тоноглогдсон. Энэ нь аливаа хэвийн бус үйл явдлын огноо, цаг, шалтгааныг бүртгэдэг бол камер болон ажлын хэсгүүдийг хамгаалахын тулд автомат унтрах ажиллагааг идэвхжүүлдэг.

Хэрэглээний хувьд энэ төхөөрөмж нь чипийг дутуу дүүргэх{0}}процессуудад өргөн хэрэглэгддэг. Сийвэнг дутуу дүүргэхээс өмнө цэвэрлэх нь гадаргуугийн идэвхжилтийг мэдэгдэхүйц сайжруулж, чийгшүүлэх чадварыг сайжруулж, субстрат ба капсулын хоорондох наалдацыг нэмэгдүүлдэг. Үүний үр дүнд энэ нь сав баглаа боодлын чанарыг сайжруулаад зогсохгүй дэвшилтэт дэлгэц болон хагас дамжуулагч угсралтын урт хугацааны найдвартай байдлыг сайжруулдаг.

Халуун Сэдвүүд: lcd rf плазмын тоног төхөөрөмж, Хятад lcd rf плазмын тоног төхөөрөмж үйлдвэрлэгчид, үйлдвэр