LED RF плазмын төхөөрөмж

LCD RF плазмын төхөөрөмж нь шингэн болор дэлгэцийн бүрэлдэхүүн хэсгүүд болон холбогдох электрон материалын гадаргууг боловсруулахад тусгайлан зориулагдсан. Машины нийт хэмжээ нь 900W × 1750H × 1200D (мм) юм. Удаан эдэлгээтэй зэвэрдэггүй гангаар хийсэн вакуум камер нь 450 × 300 × 450 мм хэмжээтэй бөгөөд нэг багцад 6 хүртэлх овоолсон тавиурыг багтаах боломжтой. Энэхүү тохиргоо нь системд туршилтын{9}}хэмжээний туршилтууд болон өндөр хэмжээний аж үйлдвэрийн үйлдвэрлэлийг хоёуланг нь дэмжих боломжийг олгодог.

 

Үйл ажиллагааны хэтийн төлөвийн хувьд тоног төхөөрөмж нь олон улсад хүлээн зөвшөөрөгдсөн брэндүүдээс өндөр чанартай{0}}цахилгаан эд ангиудыг нэгтгэж, урт хугацааны үйл ажиллагааны тогтвортой байдлыг хангадаг. Систем нь гарын авлагын болон бүрэн автоматжуулсан горимуудыг хоёуланг нь хангаж, уян хатан ажиллах боломжийг олгодог. Гурван түвшний -эрх мэдлийн удирдлагын бүтэц-оператор, инженер, ахисан түвшний хэрэглэгчийн хандалтыг хамарсан-аюулгүй үйлдвэрлэлийг баталгаажуулж, зөвшөөрөлгүй тохируулга хийхээс сэргийлнэ. Үйлдвэрлэлийн ул мөрийг хянахын тулд машин нь тайлагнах нэгдсэн системтэй бөгөөд үйл явцын мэдээллийг сар бүр автоматаар бүртгэж, нөөцлдөг. Хэрэглэгчид хязгааргүй тооны процессын жорыг хадгалж, эргэн санах боломжтой бөгөөд энэ нь янз бүрийн бүтээгдэхүүн, хэрэглээнд тохиромжтой дасан зохицох боломжийг олгодог.

Үндсэн системийн тохиргоо нь зэвэрдэггүй ган дамжуулах хоолой, хөөрөг, яндангийн үр ашигтай хяналтыг тохируулах GDQ вакуум хавхлагын хамт ашигладаг. Вакуум хэмжилтийг Pirani эсэргүүцлийн вакуум хэмжигчээр гүйцэтгэдэг бөгөөд энэ нь үнэн зөв, тогтвортой уншилтыг баталгаажуулдаг. Танхимыг тусгаарлахын тулд өндөр-вакуум хавхлагатай. Удирдлагын систем нь өргөтгөх модулиуд бүхий Mitsubishi PLC дээр тулгуурладаг бөгөөд үйл явцын параметрүүдийг нарийн, найдвартай удирддаг.

Техникийн үзүүлэлтүүдийн хувьд төхөөрөмж нь азот (N₂), аргон (Ar), устөрөгч (H₂), хүчилтөрөгч (O₂) гэсэн гурван хийн сувгийг санал болгодог. Вакуум түвшинг 10-50 Па хооронд хянадаг бөгөөд даралтын хэлбэлзэл 5% дотор хадгалагдана. Хийн урсгалын хурдыг 0-200 sccm хүрээнд тохируулах боломжтой. Хөргөх азот, шахсан агаар, технологийн хийн интерфейсүүд нь 0.45 МПа ба түүнээс доош температурт аюулгүй ажилладаг. Плазмын эмчилгээний горим нь шууд плазм, ээлжлэн анод ба катодын электродтой. Хоёр ба дөрвөн электродын бүлгийг нэгэн зэрэг суулгаж болно. Электрод бүр нь 380х310 мм-ийн үр дүнтэй гадаргуугийн талбайтай бөгөөд электродуудын хоорондох зайг тохируулах боломжтой бөгөөд стандарт зай нь 2.5 см байна.

Аж үйлдвэрийн хэрэглээний хувьд энэ төхөөрөмж нь бүрэх (хөгц) хийхээс өмнө гадаргууг цэвэрлэхэд онцгой ач холбогдолтой юм. Плазмын боловсруулалт нь органик бохирдуулагчийг зайлуулж, субстратын гадаргууг идэвхжүүлж, контактын талбай болон наалдамхай бат бөх чанарыг үр дүнтэй нэмэгдүүлдэг. Энэ нь хэвлэх явцад давхардал үүсэхээс сэргийлж, бүтээгдэхүүний найдвартай байдлыг нэмэгдүүлэхэд хувь нэмэр оруулдаг. Бат бөх дизайн, дэвшилтэт хяналтын функц, нарийн процессын гүйцэтгэлийн ачаар систем нь тогтмол, давтагдах боломжтой плазмын эмчилгээний үр дүнг өгдөг бөгөөд энэ нь LCD самбар үйлдвэрлэх, түүнчлэн хагас дамжуулагч сав баглаа боодлын хэрэглээнд тохиромжтой шийдэл юм.

Халуун Сэдвүүд: led rf плазмын тоног төхөөрөмж, Хятад led rf плазмын тоног төхөөрөмж үйлдвэрлэгчид, үйлдвэр